薄膜电阻制造工艺

薄膜电阻制造工艺是一种高精度的电阻制造技术,广泛应用于微电子、传感器及集成电路等领域。其基本原理是通过物理或化学沉积方法在绝缘基板上形成一层薄金属膜,然后通过光刻和蚀刻等步骤加工成所需的电阻值。该工艺主要包括以下几个关键步骤: 1. 基板准备:选择合适的绝缘材料作为基板,并进行清洗和预处理,确保表面干净无污染。 2. 金属薄膜沉积:采用真空蒸发、溅射或化学气相沉积(CVD)等方法,在基板上沉积一层金属薄膜,如镍铬合金、钽或铂等材料,这些材料具有良好的电阻温度系数和稳定性。 3. 光刻定义:利用光刻技术将设计好的电阻图形转移到金属膜上。首先涂覆光刻胶,然后曝光、显影,形成所需的图案。 4. 蚀刻成型:使用化学或离子刻蚀技术去除不需要的部分,保留设计好的电阻形状。 5. 后处理与测试:完成蚀刻后,对薄膜电阻进行清洗、干燥和保护层涂覆等处理,最后进行电气性能测试以确保其符合设计要求。 薄膜电阻制造工艺因其高精度、稳定性和可大规模生产的特点而被广泛应用。
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