晶圆级封装
1964年,IBM在美国首次在其M360计算器中使用FCOB焊料凸点倒装芯片器件。 1969年,Delco在汽车中使用焊料凸点装置。
在20世纪70年代,日本公司如NEC和日立公司开始在一些计算器和超级计算器中使用FCOB设备。在20世纪90年代,世界上建立了制造公司,如Kulicke和Soffa的Flip Chip Division,Unitive,Fujitsu Tohoku Electronics,IC Interconnect等。
这些公司的基本技术是电镀和焊膏工艺。 。
这些公司使用凸点技术和薄膜再分配技术开发了晶圆级封装技术。 FCD和富士通的Super CSP(Ultra CSP和Supper CSP)是首批进入市场的晶圆级封装产品。
1999年,晶圆凸点制造公司开始向主要包装制造商发放技术许可证。通过这种方式,倒装芯片和晶圆级封装正在全球范围内逐步推广。
例如,台湾的ASE和Siliconware公司以及韩国的Amkor根据FCD的技术许可制造超级CSP。提供具有正面和背面的晶片。
接下来,在晶片的正面上形成多个凹槽。在每个凹槽的表面上形成绝缘层。
然后,在每个凹槽的绝缘层上和晶片的前表面的一部分上形成导电层。然后在每个凹槽的导电层上形成焊料层。
此后,在晶片的前表面上形成第一衬底。接下来,在晶片的后表面处形成多个孔,并且孔的位置对应于凹槽的位置,并且每个孔暴露出焊料层。
然后,在晶片的后表面上形成第二衬底,并且第二衬底具有多个导电柱,并且导电柱相应地放置在晶片的孔中以与焊料层连接。此后,在第二基板上形成多个导电结构。
总的来说,WLP的主要应用是模拟IC,PA / RF(移动电话放大器和前端模块)和CIS(CMOS图像传感器)。需求主要来自便携式产品。
(iPod,iPhone)对轻薄功能的需求,以及一些NOR闪存/ SRAM也可用于WLP封装。此外,基于电气性能考虑,DDR III被认为是WLP或FC封装,但JEDEC仍然没有最终规格(注:到目前为止,Hynix,三星和Elpida已发布DDR III产品仍然使用FBGA封装),适用于SiP应用这是一个长期的发展目标。
此外,在塑料封装类型(例如PBGA)中,MEMS组件也主要是WLP封装,因为它们的模塑化合物会损坏MEMS组件和光学传感器的可移动部件。随着任天堂Wii和APPLE iPhone和iPod Touch以及其他新兴消费电子产品使用MEMS组件(如加速度计和陀螺仪)的加速,它们成为WLP封装的增长动能来源。
使用无铅和细间距凸点的晶圆级封装(WLP)占全球WLP市场需求的一小部分。尽管根据国际半导体技术蓝图(ITRS)预测:到2009年,凸块之间的间距(从相邻凸块的中心到中心的距离)为100mm。
然而,对于大规模生产的凸块制造商而言,目前市场对间距< 100mm凸起的需求非常低。例如,焊料凸点的领导者IBM仍然在许多产品中使用具有220mm间距的C4凸点技术。
对于细间距互连,一个小但快速增长的应用领域是高密度像素探测器阵列。与此同时,许多市场和实际应用对无铅焊料的需求也在迅速增长。
大量汽车电子和移动电话的OEM供应商发现,客户对无铅产品的需求持续增长。
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